分析事業　使用装置一覧表：菱電化成

使用装置一覧表

	分析手法（略名称）	得られる情報
元素・分離分析	プラズマ発光分光分析(ICP-AES)	固体、液体中の微量成分〜主成分金属元素の定性、定量分析
	マイクロ波プラズマ質量分析(MIP-MS)	固体、液体中の超微量金属元素の定性、定量分析
	原子吸光分析(AAS)	固体、液体中の極微量金属元素の定量分析水中の微量水銀の定量分析
	蛍光Ｘ線分析(XRF)	固体中の微量成分〜主成分の定性、定量分析材料中有害物質のスクリーニング分析
	有機元素分析(CHNS/O)	有機材料中のＣ,Ｈ,Ｎ,Ｓ,Ｏの含有量
	イオンクロマトグラフ分析(IC)	水溶液中の陰イオン,陽イオン,有機酸の定性、定量分析陰イオンの超微量定量分析
	ガスクロマトグラフ分析(ICP-AES)	気体、液体混合物の分離、定量分析
	ゲル浸透クロマトグラフ分析(GPC)	高分子材料の分子量測定
組成・構造解析	赤外分光分(GPC)	有機、無機化合物の構造解析微小領域の有機、無機化合物の構造解析
	紫外・可視分光光度計(UV-VIS)	有機、無機化合物の同定、定量分析
	Ｘ線回折(XD)	結晶構造,格子定数,結晶方位,結晶粒径
	ガスクロマトグラフ−質量分析(GC-MS) a)パージ＆トラップ法 b)熱分解法	混合物中の未知成分の分離、同定、定量樹脂中からの発生ガスの分離、同定、定量樹脂の熱分解成分の分離、同定、定量
	ウエハ加熱脱離-ガスクロマトグラフ／質量分析(WTD-GC/MS)	ウエハ表面の付着有機物の同定、定量
	昇温脱離ガス分析(TDS)	ウエハ等の固体表面吸着成分の分析
表面・局所分析	電子線マイクロアナリシス(EPMA)	微小領域の定性、定量分析 10μｍ□〜8cm□の元素分布
	オージェ電子分光分析(SAM)	極表面の組成分析および元素分布深さ方向の元素分布
	Ｘ線光電子分光分析(XPS)	極表面の組成分析と化学結合状態深さ方向の元素分布
	二次イオン質量分析(SIMS)	極表面の微量元素分析深さ方向の元素分布
形態観察・分析	走査電子顕微鏡(SEM/EDX)	表面形状観察、微小領域の定性分析
	非接触三次元測定	表面粗さの測定（10nmオーダ）、三次元形状情報の取得
	透過電子顕微鏡(TEM)	微小領域（nmオーダ）の定性、定量分析原子配列、結晶欠陥等の微細構造観察微小領域（nmオーダ）の結晶構造解析
	原子間力顕微鏡 (AFM)	微小領域表面における垂直方向の情報（高さ、深さ、粗さ等）計測微小領域の表面形状の観察
	収束イオンビーム装置(FIB)	特定微小領域の微細加工及び観察

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