分析事業

次世代の夢に向けて、信頼ある分析・評価でお付き合いします。かつては夢であった技術が今や現実となり、その実用化が進んでいます。そして夢を実現するには、高度な分析・評価技術が必要です。
当社分析センターは、高度な総合技術力に優れた三菱電機株式会社 先端技術総合研究所の分析・評価技術を受け継ぎ、各種最新機器を用いて皆様のニーズに迅速かつ的確にお応えし、夢の実現をサポートさせていただきます。

業務内容

  • 材料分析

    • 元素・分離分析
    • 組成・構造解析
    • 表面・局所分析
    • 形態観察・分析
  • 環境分析

    • 排水・地下水分析
    • 土壌・底質分析
    • PCB分析
    • シックハウス関連分析
    • RoHS / WEEE 規制物質分析
    • 土壌汚染調査・対策
  • 物性評価

    • 機械的特性
    • 熱的特性

材料分析

分析分野(概要) 応用分野(代表例)
元素・分離分析
(pptオーダーから主成分までの定性・定量分析)
  • 薄膜の組成及び不純物分析
  • 半導体材料中の不純物分析
  • クリーンルーム環境無機汚染分析
  • 鉄鋼、非鉄金属、セラミック等の主成分及び微量成分の定量
  • 半田の組成分析
  • メッキ液、エッチング液等の各種イオンの定量
  • ウエハ表面微量汚染分析
  • 油中ハロゲン及び有機酸(イオン)の定量
  • 樹脂の不純物分析
  • 高分子材料の分子量分布の測定
  • 腐食生成物の定性、定量
組成・構造解析
(化学構造、結晶構造の解析)
  • ウエハ表面有機物汚染分析
  • クリーンルーム環境有機汚染分析
  • 有機材料の脱ガス分析
  • 結晶方位、結晶子サイズの解析
  • 樹脂、ゴム、接着剤等の有機化合物の同定
  • 格子定数の精密測定
  • 有機化合物の添加剤の同定
  • 無機化合物の同定
  • 半導体、液晶デバイス等の微小異物解析
  • ラミネートフィルム等の層構造の解析
  • 薄膜の結晶配向解析
  • 金属表面の防食被膜、防錆剤等の被膜解析
表面・局所分析
(深さ数nm〜数μmの表面・局所分析)
  • 半導体プロセスの微小異物の同定
  • 金属表面酸化物、化合物の化学結合状態分析
  • 金属材料等の微小領域の定量
  • 表面改質層の評価
  • 多層薄膜の層構造と界面状態の解析
  • 電子材料のマイグレーションの解析
  • Siウエハ不純物の深さ方向濃度分布解析
  • 腐食生成物の分布状態の解析
  • 表面付着物、析出物の二次元分布状態の解析
  • 表面酸化膜等の膜厚測定
形態観察・分析
(数十倍から百万倍までの顕微鏡観察・分析)
  • 半導体デバイスにおける特定微小部の形状観察
  • 多層薄膜断面の層構造観察・分析
  • 粉体、焼結体等の粒子形状、粒径等の観察
  • 原子配列の解析、表面形状観察
  • Si及び化合物半導体の結晶構造解析
  • 結晶粒径の測定
  • 破面観察による破損原因の解析
  • 金属、セラミック等の結晶欠陥の解析
  • 微粒子の微細構造観察
  • ナノチューブの層構造及び内部構造観察

環境分析

環境計量

計量証明事業所登録(1999年):計証第濃84号(兵庫県)

分析内容 対象業務
濃度計量証明
(重金属類、揮発性有機化合物(VOC)、農薬類などの公定法分析)
  1. 排水・地下水分析
    • 基準項目(重金属類、VOC他)
    • 生活環境項目
    • 監視項目
  2. 土壌・底質分析
    • 溶出量試験
    • 含有量試験
環境関連分析
分析内容 対象業務
計量証明以外の関連分析
  1. PCB分析
    • 絶縁油中微量PCB
  2. シックハウス関連分析(VOC、アルデヒドほか)
    • 室内環境規制対象物質
    • 製品VOC評価(放散試験)
  3. RoHS / WEEE規制物質分析
    • スクリーニング分析
    • 含有量定量
  4. 産業廃棄物・海洋汚染廃棄物
    • 溶出量試験
    • 含有量試験

土壌調査

指定調査機関(2003年指定)環境省:環2003-1-392 大阪府:大阪府H15-1-265)

分析内容 対象業務
土壌汚染調査・対策
  1. サイトアセスメント
    • 資料等調査
  2. 土壌・地下水汚染調査
    • 溶出量試験
    • 含有量試験
    • 土壌ガス分析
  3. 汚染浄化対策
    • 汚染拡散防止措置
    • 浄化工事

物性評価

分析内容 対象業務
機械的特性
  1. 材料の強度試験
    • 引張り強度
    • 曲げ強度
    • はく離強度
  2. 薄膜の物性評価(SAICAS)
    • 界面はく離(密着)強度
熱的特性
  1. 材料の熱的特性
    • 示差走査熱量測定
    • 示差熱分析
    • 熱機械分析
    • 熱重量分析
    • 動的機械測定
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